Anéis Coletores Elétricos para Equipamentos de Semicondutores

Os anéis de deslizamento elétricos são componentes centrais rotativos de alta precisão para equipamentos de semicondutores, especificamente concebidos para produção automatizada, de alta precisão,e condições de funcionamento de alta fiabilidade na indústria de semicondutoresSob rotação contínua de 360° sem restrições, garante a transmissão estável de energia, sinais de codificador e vários sinais sensíveis.Com um diâmetro superior a 50 mmEsta solução integrada suporta uma ampla gama de equipamentos de semicondutores durante o processamento de wafers, embalagens, testes,e estágios de automação.

Aplicações principais no processo de produção de semicondutores

Os anéis elétricos de deslizamento são amplamente aplicados em todo o processo de produção completo da fabricação de wafers de semicondutores, embalagens de chips e testes de produtos acabados,e são adequados para os mecanismos de rotação dos principais equipamentos de semicondutores.

Principais aplicações:

1Fabricação de waferas frontal

Utilizado em equipamentos como revestimentos e desenvolvedores fotoresistentes, máquinas de gravação, sistemas de deposição de película fina PVD / CVD e máquinas CMP.de peso não superior a 20 g/m2, mas não superior a 150 g/m2,, linhas de vácuo e gasodutos.

2Embalagem e ensaios de back-end

Aplicável ao corte de wafer, colagem a óleo, colagem de fio e máquinas de moldagem.de peso não superior a 20 g/m2, mas não superior a 150 g/m2,.

3Inspecção e triagem de processos completos

Para sondas de wafer, sistemas de inspeção visual de chips e equipamentos de teste elétrico.de um diâmetro não superior a 50 mm,.

4Automatização e equipamento auxiliar

Utilizado em elevadores rotativos de wafer AGV, robôs de linha de produção e sistemas de manuseio FOUP.e transmissão de fluidos.